JFEテクノリサーチ株式会社

            

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■特徴・概要

FiDiCa®はシリコンウエハ、ガラス、樹脂フィルムなどの測定対象全面の膜厚を光干渉法により測定する装置です。測定結果は数値だけではなく、カラーマップでも表示可能です。測定対象の膜厚は独自のアルゴリズムを用いて、400万点の膜厚データを約90秒（材質、条件による）で測定・演算可能です。

■ターゲット

半導体メーカ、各種フイルムメーカ、電子部品メーカなど

■他社との違い

従来の測定方法（点で測定するエリプソメータなど）と比べてFiDiCaは全面を一括で測定します。測定対象の膜厚を400万点のデータでとらえ測定から演算までを90秒で行います。

■その他

膜厚測定で問題を抱えているお客様、これから膜厚測定を検討されるお客様、ぜひ一度弊社へお声がけください。
弊社には豊富な膜厚計測実績と多くの納入実績があります。
経験豊富な技術陣と独自の計測ノウハウで、お客様を強力にバックアップさせていただきます。